付新

精密工程与微纳技术研究所

教授、博导
办公室：
电 话：0571-88206490
E-mail: xfu@zju.edu.cn

研究方向：机械电子工程、微纳技术与精密工程、浸没光刻机浸液控制系统、超洁净流控元件及系统。

巨阳

微纳技术与精密工程研究所

教授、博导
电 话：
邮 箱：yang.ju@zju.edu.cn

个人主页：https://person.zju.edu.cn/yju

学术兼职：日本工程院院士、浙江大学求是讲席教授

研究方向：电子风力与合金材料结晶组织优化、微波无损检测、三维立体纳米材料创制及应用。

居冰峰

精密工程与微纳技术研究所

教授、博导
办公室：
电 话：0571-87951730
E-mail: mbfju@zju.edu.cn

研究方向：微纳测量、精密机电系统以及超精密加工技术。

项荣

精密工程与微纳技术研究所

教授、博导
电 话：
邮 箱：xiangrong@zju.edu.cn

个人主页：https://person.zju.edu.cn/xiangrong

学术兼职：浙江大学求是特聘教授

研究方向：原子尺度物质创制；原子分辨显微表征；一维范德华异质结

谢金

精密工程与微纳技术研究所

教授、博导
办公室：
电 话：0571-87951271-6407
E-mail: xiejin@zju.edu.cn

研究方向：微机械电子系统（MEMS）、微传感器与驱动器、纳米技术。

刘涛

精密工程与微纳技术研究所

所长、教授、博导
办公室：
电 话：0571-87951314-6221
E-mail: liutao@zju.edu.cn

研究方向：穿戴式传感技术、人体动力学分析和生物力学信息反馈、运动康复机器人。

陈远流

精密工程与微纳技术研究所

研究员、博导
办公室：
电 话：
E-mail: yuanliuchen@zju.edu.cn

研究方向：智能精密微纳制造、精密机电系统集成与控制、先进功能表面的制造、操控与测量、新型驱动方式的界面机理与技术应用。

胡亮

精密工程与微纳技术研究所

教授、博导
办公室：
电 话：
E-mail: cmeehuli@zju.edu.cn

研究方向：面向IC制造的超洁净流控元件与系统。

朱吴乐

精密工程与微纳技术研究所

研究员、博导
电 话：
邮 箱：wulezhu@zju.edu.cn

个人主页：https://person.zju.edu.cn/zhuwule

研究方向：光学复杂器件的超精密柔性极端制造、自由曲面、微纳结构在位测量技术。

阮晓东

精密工程与微纳技术研究所

教授、博导
办公室：
电 话：0571-87953392
E-mail: xdruan@zju.edu.cn

研究方向：流体机械、流动测量、人工心脏。

刘昊

精密工程与微纳技术研究所

副教授、硕导
办公室：
电 话：0571-87951168
E-mail: hliu2000@zju.edu.cn

研究方向：外骨骼机器人、气动伺服控制系统、气动-燃油混合动力系统。

刘伟庭

精密工程与微纳技术研究所

副教授、硕导
办公室：
电 话：
E-mail: liuwt@zju.edu.cn

研究方向：微机电系统、MEMS传感器、柔性触觉传感器、穿戴式测量技术。

孙安玉

精密工程与微纳技术研究所

副教授、硕导
办公室：
电 话：
E-mail: say@zju.edu.cn

研究方向：软组织生物力学、无损检测技术。

苏芮

精密工程与微纳技术研究所

特聘副研究员、硕导
办公室：
电 话：
E-mail:srhello@zju.edu.cn

研究方向：光刻机超洁净流控系统的污染控制机理研究、氟塑料超洁净零部件