精密工程与微纳技术研究所教师
 | 刘涛（所长） |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| 电话：0571-87951271-6221 | |
| E-mail：liutao@zju.edu.cn | |
| 人才称号：国家级优秀青年人才 | |
| 研究方向：研究领域涉及机械电子技术、生物力学工程和传感技术等多门学科，目前的研究方向是“穿戴式传感器技术”、“人体动力学分析和生物力学信息反馈”、“运动康复机器人的开发与研究” | |
 | 胡亮（副所长） |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| E-mail：cmeehuli@zju.edu.cn | |
| 人才称号：国家级高层次人才、浙江大学求是特聘教授 | |
| 研究方向：光刻机浸液系统、光刻机光源靶滴喷射与控制技术、IC装备超洁净流控元件 | |
 | 陈远流（副所长） |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| E-mail：yuanliuchen@zju.edu.cn | |
| 人才称号：国家级高层次人才、浙江大学求是特聘教授 | |
| 研究方向：智能超精密制造、原子级制造、微纳测量 | |
 | 刘昊（副所长） |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 副教授、硕导 | |
| 电 话：87951168 | |
| E-mail: hliu2000@zju.edu.cn | |
| 研究方向：气动元件与伺服控制系统、气动外骨骼机器人 | |
 | 巨阳 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| E-mail：yang.ju@zju.edu.cn | |
| 人才称号：日本工程院院士、浙江大学求是讲席教授 | |
| 研究方向：电子风力与合金材料结晶组织优化、微波无损检测、三维立体纳米材料创制及应用 | |
 | 付新 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| 电话：88206490 | |
| E-mail：xfu@zju.edu.cn | |
| 人才称号：浙江大学求是特聘教授 | |
| 研究方向：微纳制造技术、流体检测与计量、流体空化及噪声控制、应用流体力学 | |
 | 居冰峰 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| 电话：0571-87951730 | |
| E-mail：mbfju@sfp.zju.edu.cn | |
| 人才称号：国家级高层次人才、浙江大学求是特聘教授 | |
| 研究方向：微纳测量、精密机电系统以及超精密加工技术 | |
 | 项荣 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| E-mail：xiangrong@zju.edu.cn | |
| 人才称号：国家级高层次人才、浙江大学求是特聘教授 | |
| 研究方向：原子尺度物质创制；原子分辨显微表征；一维范德华异质结 | |
 | 杨功流 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| E-mail：yanggl007@zju.edu.cn | |
| 人才称号：浙江大学求是特聘教授 | |
| 研究方向：惯性技术、智能导航、组合导航技术；精密仪器、精密机电控制技术 | |
 | 李璟 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| E-mail：lijing2023@zju.edu.cn | |
| 人才称号：国家级高层次人才、浙江大学求是特聘教授 | |
| 研究方向：超精密测量与标校、复杂系统控制与集成、动态与非稳态建模、光机电系统设计 | |
 | 王静 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| E-mail：jenny.wjing@gmail.com | |
| 人才称号：国家级高层次人才、浙江大学求是特聘教授 | |
| 研究方向：光刻技术，纳米尺寸的测量和制程良率控制 | |
 | 阮晓东 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| 电话：87951271-8205,87953392 | |
| E-mail：xdruan@sfp.zju.edu.cn | |
| 研究方向：流体测量技术，叶轮机械、人工心脏等领域 | |
 | 谢金 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 教授、博导 | |
| 电话：87952226-6407 | |
| E-mail：xiejin@zju.edu.cn | |
| 人才称号：国家级优秀青年人才 | |
| 研究方向：主要从事微传感器和驱动器、微机电系统(MEMS)、精密测量等领域的研究 | |
 | 朱吴乐 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 研究员、博导 | |
| E-mail：wulezhu@zju.edu.cn | |
| 人才称号：国家级优秀青年人才 | |
| 研究方向：光学复杂器件的超精密柔性极端制造、自由曲面、微纳结构在位测量技术 | |
 | 郑永嘉 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 研究员、博导 | |
| E-mail：zhengyongjia@zju.edu.cn | |
| 人才称号：国家级优秀青年人才 | |
| 研究方向：原子及近原子尺度制造与测试表征、一维范德华异质结 | |
 | 苏芮 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 研究员、博导 | |
| E-mail：srhello@zju.edu.cn | |
| 人才称号：国家级优秀青年人才 | |
| 研究方向：光刻机超洁净流控系统的污染控制机理研究、氟塑料超洁净零部件 | |
 | 申英男 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 研究员、博导 | |
| E-mail：shenyingnan@zju.edu.cn | |
| 研究方向：面向半导体制造的超洁净流控与极微污染物控制技术 | |
 | 刘伟庭 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 副教授、硕导 | |
| 电 话：87951271-8303 | |
| E-mail: liuwt@zju.edu.cn | |
| 研究方向：微纳制造与柔性传感技术、穿戴式系统与人体健康监测、仿生机器人技术 | |
 | 孙安玉 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 副教授、硕导 | |
| E-mail: say@zju.edu.cn | |
| 研究方向：超声无损检测技术、光电类医疗仪器的设计与开发 | |
 | 尹海龙 |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 助理研究员 | |
| E-mail: yinhl_al@163.com | |
 | Afzal Khan |
| 精密工程与微纳技术研究所 | |
| 助理研究员 | |
| E-mail: afzalkhan@zju.edu.cn |
