精密工程与微纳技术研究所教师
| 付新 精密工程与微纳技术研究所 教授、博导 | 研究方向：机械电子工程、微纳技术与精密工程、浸没光刻机浸液控制系统、超洁净流控元件及系统 |
| 巨阳 微纳技术与精密工程研究所 教授、博导 个人主页：https://person.zju.edu.cn/yju | 学术兼职：日本工程院院士、浙江大学求是讲席教授 研究方向：电子风力与合金材料结晶组织优化、微波无损检测、三维立体纳米材料创制及应用 |
| 居冰峰 精密工程与微纳技术研究所 教授、博导 | 研究方向：微纳测量、精密机电系统以及超精密加工技术 |
| 项荣 精密工程与微纳技术研究所 教授、博导 个人主页：https://person.zju.edu.cn/xiangrong | 学术兼职：浙江大学求是特聘教授 研究方向：原子尺度物质创制、原子分辨显微表征、一维范德华异质结 |
| 李璟 精密工程与微纳技术研究所 求是特聘教授、博导 E-mail：lijing2023@zju.edu.cn 个人主页：https://person.zju.edu.cn/0023166 | 研究方向：超精密测量与标校、复杂系统控制与集成、动态与非稳态建模、光机电系统设计 |
| 谢金 精密工程与微纳技术研究所 教授、博导 | 研究方向：微机械电子系统（MEMS）、微传感器与驱动器、纳米技术 |
| 刘涛 精密工程与微纳技术研究所 所长、教授、博导 | 研究方向：穿戴式传感技术、人体动力学分析和生物力学信息反馈、运动康复机器人 |
| 陈远流 精密工程与微纳技术研究所 长聘副教授、博导 | 研究方向：智能精密微纳制造、精密机电系统集成与控制、先进功能表面的制造、操控与测量、新型驱动方式的界面机理与技术应用 |
| 胡亮 精密工程与微纳技术研究所 教授、博导 | 研究方向：面向IC制造的超洁净流控元件与系统 |
| 王静 精密工程与微纳技术研究所 求是特聘教授、博导 E-mail：jenny.wjing@gmail.com | 研究方向：光刻技术，纳米尺寸的测量和制程良率控制 |
| 朱吴乐 精密工程与微纳技术研究所 研究员、博导 个人主页：https://person.zju.edu.cn/zhuwule | 研究方向：光学复杂器件的超精密柔性极端制造、自由曲面、微纳结构在位测量技术 |
| 杨功流 精密工程与微纳技术研究所 教授、博导 E-mail：yanggl007@zju.edu.cn | 研究方向：惯性技术、智能导航、组合导航技术；精密仪器、精密机电控制技术 |
| 阮晓东 精密工程与微纳技术研究所 教授、博导 | 研究方向：流体机械、流动测量、人工心脏 |
| 刘昊 精密工程与微纳技术研究所 副教授、硕导 | 研究方向：外骨骼机器人、气动伺服控制系统、气动-燃油混合动力系统 |
| 刘伟庭 精密工程与微纳技术研究所 副教授、硕导 | 研究方向：微机电系统、MEMS传感器、柔性触觉传感器、穿戴式测量技术 |
| 孙安玉 精密工程与微纳技术研究所 副教授、硕导 | 研究方向：软组织生物力学、无损检测技术 |
| 苏芮 精密工程与微纳技术研究所 特聘副研究员、硕导 个人主页：https://person.zju.edu.cn/ruisu | |
| 郑永嘉 精密工程与微纳技术研究所 研究员、博导 E-mail：zhengyongjia@zju.edu.cn 个人主页：https://person.zju.edu.cn/zhengyongjia | 研究方向：原子及近原子尺度制造与测试表征、一维范德华异质结 |
| 申英男 精密工程与微纳技术研究所 研究员、博导 E-mail：shenyingnan@zju.edu.cn 个人主页：https://person.zju.edu.cn/shenyingnan | 研究方向：面向半导体制造的超洁净流控与极微污染物控制技术 |
