浙江大学1件专利拟实施许可，现将相关信息予以公示。
1.专利名称：一种基于Gabor特征与随机降维的晶圆表面缺陷检测方法
专利号：201711374150.9
专利简介：本发明公开了一种基于Gabor特征与随机降维的晶圆表面缺陷检测方法。用CCD相机采集晶圆表面图像，然后对图像进行预处理；设计用于获取晶圆表面纹理特征的40个Gabor滤波器，然后将40个Gabor滤波器与图像做卷积运算得到40幅特征图像；对40幅特征图像采用随机降维：对降维后的图像进行阈值分割，构建针对分割阈值的目标函数，求解目标函数获得最终分割阈值，用最终分割阈值分割图像为前景与背景，确定分割阈值，最终准确检测晶圆表面缺陷。本发明方法可很好地对晶圆表面缺陷进行识别和定位，并且识别的效率也有了很大的提高。
转化方式：普通许可
定价方式：协议定价
转化价格：25万元
公示期自2022年9月16日至2022年9月30日。如有异议，请在公示期内向机械工程学院提交异议书及有关证据。
电话：0571-87951275，邮箱：sme_rd@zju.edu.cn。
浙江大学机械工程学院
2022年9月16日