2019年12月20日，中国机械工业联合会在杭州组织召开了由浙江大学、中国工程物理研究院机械制造工艺研究所联合完成的“跨尺度微纳制造过程的测量技术及其应用”项目科技成果鉴定会。会议邀请了7位专家组成鉴定委员会，华中科技大学李培根院士担任鉴定委员会主任委员，中南大学钟掘院士、机械科学研究总院单忠德院士担任副主任委员。会议由中国机械工业联合会马敬坤处长主持，浙江大学机械工程学院院长杨华勇院士到会致辞。
鉴定委员会听取了项目负责人居冰峰教授的汇报，审查了相关技术资料。经质询和讨论，鉴定委员会认为，该项目发明了面向跨尺度微纳制造全流程的多维度测量技术，形成了覆盖工艺确定性保障、过程稳定性控制、形性高效评定的完整技术体系。研制出多参数超声显微测量仪、智能刀架、跨尺度形貌测量仪、全光学亚表面缺陷测量仪等多套仪器。设备经用户使用，反映良好，取得了显著的经济和社会效益。
该成果整体技术水平达到国际先进，主要技术创新点具有自主知识产权，属国际领先。所开发的四套仪器设备为国内外首创。同意通过鉴定，并建议将上述成果尽快产业化。
