微纳技术与精密工程研究所

时间:2017-04-20浏览:1833设置

(网址:http://imnp.zju.edu.cn/cms/index/index.html


主要研究方向:

 光刻机浸液系统

 面向微纳制造的流体部件

 超精密加工与测量技术

 微纳器件与系统集成技术

 人机交互与传感器网络

 微纳传感与驱动的应用技术

 MEMS与微纳制造技术

 传感器与智能仪器

 新型精密气动元件及系


 长:刘涛教授

副所长:谢金教授,刘昊副教授

电话:0571-87951314(转6221

E-mail: micronano@zju.edu.cn


微纳技术与精密工程研究所于2017年由机械工程学院机械电子控制工程研究所中相关专业教师组建,是一个从事微纳制造和精密加工相关研究的新建研究所,是流体动力与机电系统国家重点实验室的主要组成单位之一,所属机械电子工程学科为国家重点学科,所在的一级学科机械工程入选国家“双一流”建设学科。

研究所现有教授5人,研究员1人,副教授3人,讲师1人,博士后2。目前有90余名博士和硕士研究生在研究所从事相关课题研究。



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